AZO旋轉靶/平面靶
產品介紹
AZO靶材是鋅鋁氧化物功能陶瓷材料，主要用于磁控濺射制備AZO透明導電薄膜。以等離子體為熱源將相應粉末加熱到熔融或半熔融狀態并高速沖擊背管表面形成致密涂層，從而制備出高純度、高致密度AZO靶材。
應用領域
薄膜太陽能電池
Low-E鍍膜玻璃
汽車鍍膜玻璃
產品特點
密度高，成膜質量好。
使用功率高，約13kW/m。
濺射速率、使用效率比同類產品高。
產品中心
參數規格
| 組份（wt%） | ZnO:Al2O3=98:2 |
| 純度（%） | ≥99.95 |
| 密度（g/cm3） | ≥5.1 |
| 靶材尺寸 | 靶材外徑 Φ151-160mm 鋼管直徑 OD133/ID125mm 長度 ≤4m 可按圖紙要求加工 |
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