ITO靶材是銦錫氧化物功能陶瓷材料,主要用于磁控濺射制備ITO透明導電薄膜。采用最先進的常壓燒結(jié)工藝,多個靶管/靶塊拼接貼合為ITO靶材成品。
采用專有技術(shù)生產(chǎn)的ITO粉體,燒結(jié)密度高,微結(jié)構(gòu)均勻;具有導電導熱性好,強度高等優(yōu)點,減少結(jié)瘤現(xiàn)象和微電弧的出現(xiàn)。
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