TZO靶材
產品介紹
以等離子體為熱源將相應粉末加熱到熔融或半熔融狀態并高速沖擊背管表面形成致密涂層，從而制備出高純度、高致密度TZO靶材。
應用領域
光學玻璃AR膜系
Low-E鍍膜玻璃
工具鍍膜和裝飾鍍膜
產品特點
成膜均勻性≤3%
濺射功率約12.5kW/m
濺射速率高，是金屬鋅錫的1.8-2倍
產品中心
參數規格
| 組份（wt%） | ZnO:SnO2 52±2:48±2 |
| 純度（%） | ≥99.9 |
| 密度（g/cm3） | ≥5.4 |
| 雜質含量 | Al≤200 Si≤200 In≤200 Fe≤30 |
| 雜質總和≤1000 | |
| 電阻率（Ω·cm） | ≤0.5 |
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